中国科学家在研究, 下一代EUV光刻机, 采用6.7nm波长光源?
中国科学家在研究, 下一代EUV光刻机, 采用6.7nm波长光源?
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在芯片制造中，光刻机是最核心的设备。
而EUV则是制造7nm以下芯片必不可少的设备，且全球只有ASML一家能够制造，美国还不允许它卖给中国企业。
所以制造出国产EUV就相当重要了，因为如果没有国产EUV，我们的芯片工艺要进入7nm以下，几乎不太可能。
也许能够多重曝光，用浸润式光刻机，也能够制造出7nm以下芯片，但多重曝光会显著降低良率，提高成本，实际上是无法大规模量产商业化的。
目前ASML的EUV光刻机，其采用的方式是LPP路线，即用高能激光器轰击锡滴产生等离子体，释放出13.5nm波长的光源，也就是极紫外线。
在这一条路线上，ASML绑定了蔡司、Cymer等等核心企业，这些核心企业是全球唯一，无可替代，可以说ASML断了其它很多企业的EUV之路。
所以说，如果我们要研发EUV光刻机，更好的办法是弯道超车，或者换道超车。
而近日，有消息指出，目前国内的科学家们其实发现，EUV的下一代，可能是采用更高级的光源，比如采用6.7nm或4.4nm的波长光线。
在光刻中，如果光线波长越小，那么其分辨率是越高，越是能够制造出更先进的芯片的。
科学家们认为，如果能够采用6.7nm和4.4nm的光线，那么其精度比当前13.5nm波长高很多，能够制造的芯片工艺也会先进很多。
目前中国科学家已经在尝试用钆代替锡为材料，激发出6.7nm波长的光线来。而这种光刻机的透镜，则采用镧和硼。
这样我们就能够绕开ASML设的坎，绕开蔡司、Cymer等等核心企业，走出一条属于中国的光刻机之路来。
不过，困难也有很多，比如波长较短时，反射率较差，要收集这些光线，相当困难。另外波长更短，能量分布在更少的光子上，出错的几率也会增加。
但不可否认的是，如果这一切真的实现了，那么国产光刻机，将跳过EUV,进入更高一个层次，那么卡住我们的光刻机，将再也不是问题了，反而全球的芯片厂，都要找我们买光刻机了。
当然，技术路线从理论到商用，中间会有一个漫长的过程，大家要有耐心一点，同时最终能不能商用落地，也不一定，但必须要不断的研究，才有可能最终商用，所以大家多些支持鼓励，少些嘲讽，你觉得呢？
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【公告汇总】9月5日上市公司股份回购一览9月5日，截至20时，上市公司发布的股份回购公告汇总如下：灿瑞科技（688061）董事长提议公司以自有资金和回购专项贷款通过集中竞价交易方式回购股份，拟回购金额不低于2000万元且不超过4000万元，回购价格上限为前30个交易日均价的150%，回购期限为自董事会审议通过方案之日起不超过12个月
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